Assemblage de microsystèmes 3D reconfigurables par contrôle en force : application aux MOEMS hybrides

par Kanty Rabenorosoa

Thèse de doctorat en Automatique

Sous la direction de Philippe Lutz.

Soutenue en 2010

à Besançon .


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  • Titre traduit

    Assembly of 3D reconfigurable microsystems based on force control : application to hybrid MOEMS


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  • Résumé

    La thèse propose un concept de microbancs optiques reconfigurables (MOEMS 3D hybrides) à base d'éléments microfabriqués et assemblés à l’aide d’une station robotique : ces nouveaux bancs optiques combinent les avantages du micro-assemblage robotique et des techniques de microfabrication sur silicium. Le positionnement fin des supports optiques sur un substrat s'effectue par une tâche de guidage. La réalisation d'une telle tâche à l'échelle micrométrique est une contribution majeure de la thèse. Elle a nécessité plusieurs avancées. L’absence de modèles fiables et de mesures disponibles pour des contacts plan / plan, un type de contact très fréquent en micro-assemblage, nous a conduit au développement d’un banc de mœurs robotisé pour évaluer la force de pull-off. Ensuite, un système robotique équipé de préhenseur à deux doigts de serrage instrumentés a été mis en œuvre pour mesurer simultanément la force de serrage et la force de Contact latéral qui agit sur le micro-objet manipulé durant le guidage. Un modèle de l’évolution de la force de serrage lors de l’apparition de la force de contact latéral est présenté et confronté à une modélisation par éléments finis ainsi qu'à des résultats expérimentaux. Enfin, une stratégie de guidage est établie en prenant en compte la stabilité de la saisie et les spécificités du micromonde. Une commande hybride force/ position est choisie pour automatiser le guidage par deux doigts instrumentés (GDDI). Elle a été mise en œuvre avec succès sur un système robotique.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (196 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 181 - 196

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • PEB soumis à condition
  • Cote : SCI.BESA.2010.9
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