Conception et réalisation d'un interféromètre polarimétrique : application à la nanométrologie dimensionnelle

par Suan Xu

Thèse de doctorat en Optoélectronique

Sous la direction de Yasser Alayli.

Soutenue en 2009

à Versailles-St Quentin en Yvelines .


  • Résumé

    Pour répondre à une demande croissante des nanotechnologies, et plus particulièrement en nanométrologie dimensionnelle, une méthode originale de mesure et de contrôle de position à l’échelle sub-nanométrique a été développée et mise en œuvre. Cette méthode est basée sur un interféromètre de Michelson combiné à un polarimètre et une électronique de contrôle. Le déplacement du miroir mobile est relié à l’état de polarisation en sortie de l’interféromètre. Une fois l’expérience mise en œuvre, nous avons réalisé des déplacements avec des pas de positions nanométriques. La répétabilité obtenue est sub-nanométrique sur des déplacements allers-retours pour des courses micrométriques. L’étude de l’influence de l’état de polarisation à la sortie de l’interféromètre sur la mesure et le contrôle de la position a été menée. Les autres sources d’erreurs classiques ont également été étudiées pour établir un bilan d’erreur complet. Dans un environnement contrôlé, la méthode développée pourrait s’appliquer à des déplacements de courses millimétriques, conduisant à de très nombreuses applications en nanotechnologie.

  • Titre traduit

    Polarimetric interferometer : application to dimensional nanometrology


  • Résumé

    To take into account growing requirements of nanotechnology, especially dimensional nanometrology, an original method of measuring and controlling position in the sub-nanometre scale was developed and implemented. This method is based on a Michelson interferometer combined with a polarimeter and an electronic control. The movement of the mobile mirror is connected to the polarization state at the output of the interferometer. Once the experience was implemented, we have demonstrated displacements with nanometric steps. The repeatability is at sub-nanometric scales for micrometric range back and forth displacements. The study of the influence of the polarization state at the output of the interferometer on the measurement and control of the position has been made. The other conventional sources of errors have also been studied to establish a complete error budget. Under a controlled environment, this method could be applied to millimetre range displacements, leading to many applications in nanotechnology.

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  • Détails : 1 vol. (IV-122 f.)
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  • Bibliothèque : Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines. Direction des Bibliothèques et de l'Information Scientifique et Technique-DBIST. Bibliothèque universitaire Sciences et techniques.
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