Modélisation et conception des micro commutateurs RF MEMS à actionnement électrostatique et/ou piézoélectrique

par Hikmat Achkar

Thèse de doctorat en Génie mécanique et microsystème

Sous la direction de Marc Sartor et de Patrick Pons.

Soutenue en 2009

à Toulouse 3 .

  • Titre traduit

    Modelling and design RF MEMS micro switches with electrostatic and\or piezoelectric actuation


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  • Résumé

    MEMS est un système électromécanique à l'échelle du micron comprenant des capteurs ainsi que des actionneurs (micro moteurs, micro miroirs, micro relais. . . ) fabriqués avec les techniques de la micro-électronique conventionnelle (croissance d'oxyde, dépôt de matériaux, lithographie). Les plupart des commutateurs RF MEMS sont actionnés à l'aide des forces électrostatique pour faire changer la distance entre deux électrodes pour couper ou transmettre le signal. Ce type d'actionnement, malgré ces avantages, il a un inconvénient majeur qu'il s'agit du chargement du diélectrique qui mène à l'échec de ce commutateur. Pour résoudre ce problème, on a travaillé en parallèle sur deux axes différents. Le premier axe s'agit de changer le type d'actionnement qui est la raison du chargement en actionnement piézoélectrique tandis que le deuxième consiste à garder l'actionnement électrostatique mais en améliorant le comportement des structures utilisées en augmentant la force de rappel pour surmonter le phénomène du collage sans changer la tension d'actionnement. Une étape a succédé ce travail qui s'agissait d'une validation de la plateforme numérique avant de l'utiliser à modéliser nos structures.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (163 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 155-161

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2009TOU30078
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