TY - THES DP - http://www.theses.fr/2009LIL10050 TI - Fabrication et fonctionnalisation de bioMEMS par plasma froid pour l’Analyse de la biocatalyse en spectroscopie téraHertz AU - Abbas, Abdennour A3 - Guillochon, DidierSupiot, Philippe; Bocquet, Bertrand PY - 2009 N1 - Thèse de doctorat Sciences des Matériaux et Ingénierie Lille 1 2009 N1 - 2009LIL10050 UR - http://www.theses.fr/2009LIL10050/document ER -