Etude de la fiabilité sous éclairement des transistors spécifiques aux applications capteurs d'images à pixels actifs

par Diana Lopez El Kouri

Thèse de doctorat en Micro et nano-électronique

Sous la direction de Francis Balestra et de Stéphane Ricq.

Soutenue en 2009

à Grenoble, INPG .


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  • Titre traduit

    Reliability study under illumination of transistors for active pixel sensors applications


  • Résumé

    Les capteurs d’images à pixels actifs se sont largement imposés sur le marché, aidés par la pénétration des technologies CMOS. La fonction de conversion photo-électrique est assurée par une photodiode à la source d’un transistor de transfert. En raison de la focalisation du système de lentilles utilisé, la puissance lumineuse au niveau du silicium est très importante et peut générer des défauts entraînant des problèmes de fiabilité. Ce travail de thèse a consisté à inclure la lumière visible comme contrainte lors de l’étude de fiabilité des transistors de transfert. Une dégradation induite par la lumière a été mise en évidence. Des simulations TCAD et des mesures de bruit basse fréquence ont montré qu’elle est liée à un changement du chemin de conduction des porteurs entre la photodiode et le canal. Cet effet est réversible par l’application d’un champ électrique. L’origine physique de cette dégradation a été attribuée à l’apparition de charges positives, par effet Staebler Wronski, dans une des couches du pré-métal (le nitrure borderless). Cette thèse présente les premiers travaux dans ce domaine d’étude. Elle a permis de mettre en évidence une dégradation jamais étudiée et de proposer un mécanisme physique permettant de l’expliquer.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (151 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 90 réf.

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS09/INPG/0111/D
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
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  • Cote : TS09/INPG/0111
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