Localisation de nanomatériaux dans des structures en vue d'applications microélectroniques

par Xavier Joyeux

Thèse de doctorat en Matériaux, mécanique, génie civil, et électrochimie

Sous la direction de Jean Dijon et de Jean Pinson.

Soutenue en 2009

à Grenoble, INPG .


  • Résumé

    Ce travail concerne l’intégration de nanotubes de carbone et de nanoparticules catalytiques dans des structures de la microélectronique pour l’élaboration de transistors et d’interconnexions. Une première étude concerne les nanoparticules d’oxydes métalliques qui sont tout d’abord synthétisées puis déposées, par interactions chimiques, sur des films de polymères électrogreffés sur des wafers. Ces sites catalytiques de densité contrôlée servent à la croissance de nanotubes de carbone dans des vias verticaux. Dans une deuxième approche, des nanotubes produits ex-situ sont dispersés en présence de surfactants avant d’être fonctionnalisés par des sels de diazonium. Ces nanotubes ainsi modifiés sont déposés par une méthode chimique ou électrochimique dans des tranchées horizontales. Ces deux méthodes innovantes et facilement reproductibles pour l’intégration à grande échelle permettent le dépôt sélectif de nanomatériaux dans les structures de la microélectronique.


  • Résumé

    This work concerns the integration of carbon nanotubes and catalytic nanoparticJesin the structures of microelectronics for the development of transistors and interconnections. Ln a first approach, these metal oxide nanoparticles are synthesized and then deposited by chemical interactions on polymer films electrografted on wafers. These catalytic sites with a controlled density are used for the growth of carbon nanotubes in vertical vias. Ln a second approach, nanotubes produced ex-situ are dispersed with surfactants before being functionalized by diazonium salts. These modified nanotubes are deposited bya chemical or an electrochemical method in horizontal trenches. These two innovative and easily reproducible methods allow the selective deposition of nanomaterials in the structures of microelectronics for a very large scale integration.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (220 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 324 réf.

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS09/INPG/0100/D
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible sous forme de reproduction pour le PEB
  • Cote : TS09/INPD/0100
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