TY  - THES
DP  - http://www.theses.fr/2009BESA2045
TI  - Opto-numerical analysis of AIN piezoelectric thin film operating as an actuation layer in MEMS cantilevers
AU  - Krupa, Katarzyna
A3  - Gorecki, Christophe
PY  - 2009
SP  - 1 vol. (177 p.)
N1  - Thèse de doctorat Sciences pour l'ingénieur Besançon 2009
N1  - Thèse de doctorat Sciences pour l'ingénieur Uniwersytet Warszawski 2009
N1  - 2009BESA2045
ER  -