Influence des procédés de dépôt des couches minces polymères sur leurs propriétés de surface : applications aux microsystèmes

par Jaime Puig-Pey Gonzalez

Thèse de doctorat en Sciences et génie des matériaux

Sous la direction de Alain Lamure.

Soutenue en 2008

à Toulouse 3 .


  • Résumé

    Les travaux présentés dans ce manuscrit sont axés sur les procédés de dépôt, à la pression atmosphérique, de couches minces polymères. Le but de la thèse était de préciser l'influence de différents paramètres des procédés, sur les structures et propriétés des couches minces déposées. Nous avons, d'une part, étudié les dépôts en voie sèche de polymères isolants thermostables. Nos résultats montrent la faisabilité de déposer du PolyImide par CVD à la pression atmosphérique et mettent en exergue l'influence des paramètres de dépôt sur la structure des couches minces PolyImides déposées. D'autre part, nous avons étudié les dépôts en solution, à la tournette, de polymères conducteurs extrinsèques. Pour cela nous avons choisi d'appliquer le procédé de photolithographie optique à la résine époxyde photosensible SU-8, chargée par des Nano Tubes de Carbone. L'utilisation de plans d'expériences nous a permis d'adapter le procédé, bien connu en microélectronique pour la résine SU-8, aux résines composites, d'optimiser la qualité des mélanges matrice-charge et obtenir des couches minces transparentes et conductrices. En conclusion, ces travaux ont permis de corréler certaines propriétés des couches minces aux paramètres de dépôt, à pression atmosphérique, en voies sèche et humide. In fine, ces recherches ouvrent de nouvelles voies de développement en microélectronique pour fabriquer des couches minces fonctionnelles

  • Titre traduit

    Influence of thin polymeric films deposition process on the surface properties : applications to microsystems


  • Résumé

    The work presented in this manuscript concerns the deposition processes at atmospheric pressure of thin polymer films. The aim of this thesis was to state the influence of different process parameters on the structures and properties of the deposited films. On the one hand, we studied the dry way deposition process of thermostable insulating polymers. Our results relate mainly to the settling of the deposition parameters by atmospheric pressure chemical vapor deposition, putting forward the influence of the deposition parameters on the structure of the thin PolyImide films deposited. On the other hand, we studied the solution deposition by spin coating of extrinsic conducting polymers. For this purpose, we chose to apply the optical photolithography process to photosensitive epoxy SU-8 resin, charged with Carbon NanoTubes. The use of experimental designs let us adapt the well-known process in microelectronics for SU-8 resin to the composite resin, optimizing the quality of the matrix-load mixtures and obtaining transparent and conducting thin films. In conclusion, this work made it possible to correlate the parameters of atmospheric pressure chemical deposition processes (solution and vapor), to certain properties of polymers thin films deposited. Finally, this research opens new development ways in microelectronics, to manufacture functional thin films.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (199 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 169-176

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2008TOU30291
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