Thèse soutenue

Évaluation du potentiel de performances micro-accéléromètres inertiels vibrants en silicium
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Auteur / Autrice : Baptiste Le Foulgoc
Direction : Tarik Bourouina
Type : Thèse de doctorat
Discipline(s) : Électronique et Systèmes de l'information
Date : Soutenance le 23/10/2008
Etablissement(s) : Paris Est
Ecole(s) doctorale(s) : École doctorale Information, Communication, Modélisation et Simulation (Champs-sur-Marne, Seine-et-Marne)
Partenaire(s) de recherche : Equipe de recherche : Electronique, Sytèmes de Communication et Microsystèmes
Laboratoire : Electronique- Systèmes de communication et Microsystèmes / ESYCOM
Jury : Examinateurs / Examinatrices : Tarik Bourouina, Alain Bosseboeuf, Lionel Buchaillot, Daniel Hauden, Olivier Le Traon, Alain Riondet, Pierre Touboul

Résumé

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Un important effort de recherche est nécessaire pour assurer la maîtrise du vol en espace restreint de drones miniatures. Cette recherche s’appuie sur une nouvelle génération de capteurs inertiels, les capteurs vibrants, qui offrent par leur principe et leur technologie de réalisation associée, des perspectives tout à fait intéressantes en terme de miniaturisation / performance / coût. Dans ce travail de thèse, nous avons notamment étudié la relation entre la performance et les dimensions de micro-accéléromètres vibrants en silicium. Pour cela, nous avons établi les limites de ce type de capteur en fonction de la taille du résonateur. En particulier, le facteur de qualité est apparu comme un paramètre déterminant et une étude expérimentale a été réalisée afin de valider les modèles théoriques. De nombreux résultats expérimentaux nous ont permis de dresser une estimation des performances attendues. Enfin, une première architecture d’accéléromètre vibrant en silicium est détaillée