Mesure directe et non destructive de la distribution de charges d'espace à l'échelle nanométrique dans les isolants et les semi-conducteurs : application à la microélectronique

par Gulnar Dagher

Thèse de doctorat en Sciences Mécaniques. Acoustique. Electronique

Sous la direction de Jacques Lewiner.

Soutenue en 2008

à Paris 6 .


  • Résumé

    Les isolants et les semi-conducteurs sont les principaux constituants des circuits intégrés, dont les performances croissantes sont notamment dus à la miniaturisation des composants, mais au prix d’une plus grande vulnérabilité : un champ électrique élevé favorise l’accumulation de charges, modifiant les caractéristiques du composant. Au contraire, les charges introduites par dopage contribuent à son bon fonctionnement. Pour une connaissance précise du profil de charges dans les isolants et les semi-conducteurs, un instrument de mesure directe et non destructive à l’échelle nanométrique est alors étudié dans ce mémoire. Une implémentation fondée sur une méthode pompe-sonde utilisant un laser femtoseconde permet d’obtenir une résolution spatiale inférieure à 50 nm. Une détection interférométrique ou électro-optique et l’accumulation d’un grand nombre de mesures sont nécessaires pour améliorer les signaux. Des mesures valident les premières étapes de la réalisation expérimentale.

  • Titre traduit

    Direct and non destructive space charge measurement at nanometer spatial resolution in insulators and semiconductors application to microelectronics


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Informations

  • Détails : 1 vol. (170 p.)
  • Annexes : Bibliogr. en fin de chapitres. 115 réf. bibliogr.

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
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  • Cote : T Paris 6 2008 573
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