Gestion de la contamination en microélectronique avancée

par Yannick Borde

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Jean-Charles Joud et de Alain Denoyelle.

Soutenue en 2008

à Grenoble, INPG .


  • Résumé

    La performance globale d’un site de production peut directement dépendre de sa stratégie de prise en compte de la contamination et sa croissance et pérennité sont liées à sa capacité à faire face à de nouveaux contaminants. Les règles de lutte contre la contamination doivent autoriser une introduction rapide des technologies potentiellement perturbatrices tout en gardant des coûts associés le plus faible possible. Cette thèse apporte une meilleure compréhension du thème contamination en explorant des sujets pointus avec une approche scientifique novatrice par rapport à l’état de l’art en micro et nano électronique : étude de la dangerosité des éléments métalliques vis-à-vis du silicium et de l’oxyde de silicium, transfert de contaminants par contact physique ou par voie gazeuse. . . Elle se concrétise par la mise en place de règles de fonctionnement en égard à la contamination, cohérentes et fondées sur de réelles bases scientifiques.


  • Résumé

    The performance, the growth and the efficiency of a production line are related to its capacity to in the face of new contaminants. The contamination protocol must allow the introduction of potentially disturbing technologies while keeping the associated running costs as low as possible. Ln this thesis we provide a better understanding of contamination by taking the whole cycle into account and by investigating specific subjects with an innovative scientific approach which is applied to a to state of the art of micro and nano-electronics production line: seriousness study of metallic elements towards silicon and silicon oxide, transfer of contaminants via contact by solid objects or via gaseous phase. . . From the results contained in this thesis, the implementation of working rules have been established which are dedicated to the control of the contamination. These rules are consistent and founded from a sound scientific basis.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (183 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 184 réf.

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS08/INPG/0150/D
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible sous forme de reproduction pour le PEB
  • Cote : TS08/INPG/0150
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