@PHDTHESIS{gourh2008,
url = "http://www.theses.fr/2008GRE10275",
title = "Elaboration et caractérisation de matériaux à très faible constante diélectrique de type a-SiOCH élaborés par PECVD : application aux interconnexions des circuits intégrés",
author = "Gourhant, Olivier",
year = "2008",
pages = "1 vol. (127 p.)",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Vincent, Gilbert Micro et nanoélectronique Université Joseph Fourier (Grenoble ; 1971-2015) 2008",
note = "2008GRE10275",
}