Simulation atomistique des collisions entre des agrégats de silicium hydrogéné et leur dépôt sur un substrat de silicium cristallin dans un réacteur plasma

par Ning Ning

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Holger Vach.

Soutenue en 2008

à Palaiseau, Ecole polytechnique .


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  • Titre traduit

    An atomic scale study of collisions between the hydrogenated silicon particules and their deposition into the crystalline silicon substrate in a plasma reactor


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Informations

  • Détails : 1 vol. ( 135 p.)
  • Annexes : Bibliographie 138 réf.

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