Elaboration de capacités variables ferroélectriques à base de (Ba,Sr)TiO3 pour applications RadioFréquences

par Benoit Guigues

Thèse de doctorat en Science des matériaux

Sous la direction de Brahim Dkhil.

  • Titre traduit

    Ferroelectric tunable capacitors with (Ba,Sr)tiO3 for radio frequencies applications


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  • Résumé

    L'industrie de la telephonie mobile est soumise a des contraintes de miniaturisation, et requiert de plus en plus la presence d'elements variables dans les circuits integres. Le but de ce travail de these a ete de realiser une capacite variable pour une application de puissanc dans un telephone portable. Les materiaux ferroelectriques a structure perovskite s'averent etre potentiellement interessants pour ce typ d'application. Nous nous sommes donc interesses a I'integration du titanate de strontium et baryum ((Ba,Sr)Ti03) dans une capacite fonctionnant en gamme Radio Frequences (typiquement autour de 2 GHz). La premiere partie du travail a ete d'etudier les proprietes structurales et dielectriques du BST, avec pour but de les relier entre elles. Differentes etudes ont ete menees dans cette partie, notamment sur les effets de taille de grains, de contraintes (homogenes et inhomogenes) dans les couches epaisses, de taille sur des couches minces de plusieurs epaisseurs, ou encore d'une cristallisation partie lie sur la microstructure et les performances du materiau. Grace a I'etude menee au niveau du materiau, nous avons pu proposer une integration dans une architecture de capacite hybride RFIDC L'optimisation du depot de BST a ete faite par plans d'experiences, puis la realisation de plusieurs dispositifs a perm is d'observer differents effets sur Ie composant. L'influence du substrat de Silicium a ete reduite grace a differentes solutions. L'effet du recuit de cristallisation a ete etudie sur la capacite RF. Enfin, no us avons montre la possibilite d'actionner independamment Ie materiau ferroelectrique par Ie biais d'electrodes DC.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (194 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 176 références

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  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TH 65716
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