Etude d'un matériau diélectrique poreux de type SiOCH : effet des post-traitements plasma et de nettoyage et intégration

par Wilfried Puyrenier

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de André Ayral et de Vincent Rouessac.

Soutenue en 2007

à Montpellier 2 .

mots clés

• Diélectriques
• Couches minces
• Technique des plasmas
• Microélectronique

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Titre traduit

Study of a porous low-k SiOCH material : effect of plasma and wet-cleaning post-treatments and integration

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