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Etude d'un matériau diélectrique poreux de type SiOCH : effet des post-traitements plasma et de nettoyage et intégration

par Wilfried Puyrenier

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de André Ayral et de Vincent Rouessac.

Soutenue en 2007

à Montpellier 2 .

  • Titre traduit

    Study of a porous low-k SiOCH material : effect of plasma and wet-cleaning post-treatments and integration


  • Pas de résumé disponible.

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La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (234 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 223-234. Annexes

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences et techniques (Montpellier).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 2007.MON-217

Cette version existe également sous forme de microfiche :

  • Bibliothèque : Université de Lille. Service commun de la documentation. Bibliothèque universitaire de Sciences Humaines et Sociales.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 2007MON20217
  • Bibliothèque : Université Paris-Est Créteil Val de Marne. Service commun de la documentation. Section multidisciplinaire.
  • PEB soumis à condition
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