Etude d'un matériau diélectrique poreux de type SiOCH : effet des post-traitements plasma et de nettoyage et intégration

par Wilfried Puyrenier

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de André Ayral et de Vincent Rouessac.

Soutenue en 2007

à Montpellier 2 .

  • Titre traduit

    Study of a porous low-k SiOCH material : effect of plasma and wet-cleaning post-treatments and integration


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Informations

  • Détails : 1 vol. (234 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 223-234. Annexes

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  • Bibliothèque : Bibliothèque interuniversitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 2007.MON-217
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