Développement d’architectures de filtres à base de résonateurs à ondes acoustiques de volume et contribution à l’intégration dans une technologie avancée silicium industrielle pour des applications radio-fréquences

par Cyrille Tilhac

Thèse de doctorat en Électronique des hautes fréquences et optoélectronique. Communications optiques et micro-ondes

Sous la direction de Andreia Cathelin et de Valérie Madrangeas.

Soutenue en 2007

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Pour des raisons de coût, de consommation et de volume, l'intégration complète des systèmes de communication apparaît comme un sujet porteur pour l'industrie de la microélectronique. C'est pourquoi, de nouveaux résonateurs à ondes acoustiques de volume (BAW) se développent. Un des avantages de ces résonateurs est la possibilité de les intégrer dans un système complet sur substrat silicium pour des applications de type filtrage. En revanche, il existe des variations dans le procédé de fabrication qui font que les épaisseurs des matériaux déposés fluctuent légèrement. Cela impacte directement la fréquence de résonance des résonateurs et il convient de palier à ces variations si on souhaite réaliser un système intégré. Le sujet de travail de cette thèse s'inscrit dans le cadre de cette réflexion et porte sur l'étude et la réalisation de nouvelles architectures de filtres permettant l'utilisation de résonateurs BAW accordables en fréquence.

  • Titre traduit

    Development of bulk acoustic waves filters architectures based on industrial advanced silicon technology for radio-frequency applications


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    For reasons of cost, consumption, and volume, the complete integration of communication systems seems a subject carrying for the micro-electronic industry. That is why, new resonators with bulk acoustic waves (BAW) are developed. One of the advantages of these resonators is the possibility of integrating them in a complete system on silicon substrate for filtering applications. On the other band, there are variations in the manufacturing process which make that the thicknesses of the deposited materials fluctuate slightly. That directly impacts the resonance frequency of the resonators and it is necessary to compensate these variations if one wishes to carry out an integrated system. The thesis work subject deals with the study and the realization of new filters architectures allowing the use of tuneable BAW resonators.

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  • Détails : 1 vol. (214 p.)
  • Annexes : Réf. bibliogr. à la fin de chaque chapitre

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