Intégration de matériaux piézoélectriques et électrostrictifs dans les dispositifs radiofréquence à ondes acoustiques

par Alexandre Volatier

Thèse de doctorat en Micro-ondes et microtechnologies

Sous la direction de Bertrand Dubus.

Soutenue en 2007

à Lille 1 .


  • Résumé

    Cette thèse s'inscrit dans le cadre d'une collaboration tripartite entre STMicroelectronics, le CEA-Leti et l'IEMN pour le développement des filtres Radio-Fréquence (RF) à ondes acoustiques de volume (ou BAW pour Bulk Acoustic Wave). Dans ce travail, nous présentons le développement de résonateurs et filtres à ondes acoustiques innovants adressant certains défis actuels de la technologie BAW. L'apport d'un matériau électrostrictif (transduction électromécanique non linéaire), en termes d'accordabilité en fréquence et de commandabilité, dans les résonateurs BAW est étudié. Après une brève présentation de l'état de l'art dans le domaine, la conception, la fabrication et la caractérisation de résonateurs radiofréquence à ondes de volume à base de titanate de strontium (SrTiO3) sont détaillées. Dans un deuxième temps, les ondes latérales, naturellement présentes dans les résonateurs BAW, sont exploitées pour réaliser des résonateurs dans la gamme 30-200 MHz. Après avoir précisé le principe de fonctionnement de ces résonateurs, ces concepts sont appliqués pour réaliser conjointement sur substrat silicium des résonateurs à ondes de Lamb et des résonateurs BAW fonctionnant à 2,4 GHz. Enfin, une étude sur les filtres à couplage acoustique (CRF pour Coupled Resonator Filter) est présentée. Les étapes de conception, fabrication et caractérisation sont abordées. L'apport de cette technologie pour l'intégration des fonctions de conversion de mode et d'adaptation d'impédance est étudié dans le cas du standard WCDMA.

  • Titre traduit

    Integration of piezoelectric and electrostrictive materials in radio-frequency acoustic wave devices


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Informations

  • Détails : 1 vol. (III-149 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 141-149

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  • Bibliothèque : Université des sciences et technologies de Lille (Villeneuve d'Ascq, Nord). Service commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 50376-2007-27
  • Bibliothèque : Université des sciences et technologies de Lille (Villeneuve d'Ascq, Nord). Service commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 50376-2007-28
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