Élaboration, caractérisation et propriétés physiques de couches minces d'alliages ternaires de type "Mictamict" (métal de transition-métalloïde-O ou N)

par Abbas Hodroj

Thèse de doctorat en Physique. Énergétique

Sous la direction de Jean-Luc Deschanvres et de Ulrich Gottlieb.

Soutenue en 2007

à Grenoble, INPG .


  • Résumé

    Des couches minces de composition TI-Si-O, Ru-Si-O et Ir-Si-O ont été obtenues par un procédé d'aérosol CVD à pression ambiante. Ces alliages, aussi appelés Mictamict, sont caractérisés par un mélange de deux composés normalement immiscibles. Après dépôt, les couches sont lisses et uniformes et amorphes en diffraction des rayons X. Pour l'alliage Ti-Si-O, des recuits à des températures jusqu'à 950°C provoquent la formation de nanograins de Ti02 anatase immergés dans uen matrice de Si02 amorphe. Pour le système Ru-Si-O, les recuits conduisnet à une séparation de phase avec la croissance de Ru02 en surface. La forme des grains dépend de l'atmosphère du recuit. Les mesures des résistivités électriques montrent un comportement de pseudo semiconducteurs


  • Résumé

    Thin films of Ti-Si-O, Ru-Si-O and Ir-Si-O were producted by an aerosol CVD process at ambient pressure. These also called Mictamict alloys are characterized by the mixture of tow usual Y unmixable compounds. As-deposited films are smooth and uniform and X ray amorphous. For the Ti-Si-O alloys, thermal annealing at temperatures up to S0oC induce the growth of Ti02 anatse nanograins embedded in an amorphous Si02 matrix. For the Ru-Si-O alloys, thermal annealing leads to a phase separation with the growth of Ru02 at the surface. The form of the grains depends on the annealing atmosphere. Electrical resistivity measurements show pseudo semiconducting behaviour

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Informations

  • Détails : 1 vol. (178 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. en fin de chapitres

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  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS07/INPG/0076/D
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