TY  - THES
DP  - 
		http://www.theses.fr/2007INPG0073
TI  - Contrôle et amélioration de la robustesse des corrections de proximité optique pour les générations de circuits intégrés sub-100nm
AU  - Borjon Guillerminet, Amandine
A3  - Schiavone, Patrick; Belledent, Jérôme
PY  - 2007
SP  - 1 vol. (265 p.)
N1  - Thèse de doctorat Micro et nanoélectronique Grenoble INPG 2007
N1  - 2007INPG0073
ER  -