Modeling of advanced nanometer scale MOSFETs devices with the multi-subband Monte Carlo approach

par Luca Lucci

Thèse de doctorat en Micro et nao électronique

Sous la direction de Sorin Cristoloveanu et de Luca Selmi.

Soutenue en 2007

à Grenoble, INPG .


  • Résumé

    The design of nanoscale CMOS devices poses new challenges to the TCAD community. The potential advantages of innovative device architectures incorporating different channel materials (Si, Ge, strained-Si) and crystal orientations need to be assessed. The body thickness of Ultra-Thin-Body (UTB) SOI devices has become a new design parameter, and its influence on the channel transport properties must be evaluated for device optimization. Ln order to tackle all these modeling issues in a general framework, a new self-consistent Multi-Subband Monte Carlo simulator for nano-MOSFETs has been developed. It rigorously accounts for the effect of quantization on the electrostatics, the transport mass and the scattering rates.


  • Résumé

    La conception des dispositifs CMOS à l'échelle nanométrique pose de nouveaux défis à la communauté de la simulation des composants (TCAD), à savoir : Les avantages potentiels des architectures innovantes de dispositif incorporant les différents matériaux de canal (Si, Ge, contrainted Si) et les orientations en cristal doivent être évalués. L'épaisseur du film des dispositifs réalisé sur substrats ultra mince SOI est devenue un nouveau paramètre de conception, et son influence sur les propriétés de transport de canal doit être également évalué. Afin d'étudier tous ces problèmes de modélisation, nous avons développé un nouveau simulateur Monte Carlo Multi Subband auto consistent, prenant en compte de manière rigoureuse l'effet du confinement quantique sur l'électrostatique, la masse de transport et les probabilité de collisions.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (156 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. [123]-135 ; publications de l'auteur p. [121]-122

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS07/INPG/0006/D
  • Bibliothèque : Service interétablissements de Documentation (Saint-Martin d'Hères, Isère). Bibliothèque universitaire de Sciences.
  • Disponible sous forme de reproduction pour le PEB
  • Cote : TS07/INPG/0006
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.