Studies of electronic and sensing properties of epitaxial InP surfaces for applications in gas sensor devices

par Katarzyna Barbara Wierzbowska

Thèse de doctorat en Matériaux et composants pour l'électronique

Sous la direction de Alain Pauly, Luc Bideux et de Boguslawa Adamowicz.

Soutenue en 2007

à Clermont-Ferrand 2 en cotutelle avec Gliwice, Silesian Technical University .

  • Titre traduit

    Etudes des propriétés électroniques de structures épitaxiées à base d'InP en vue d'une application aux capteurs


  • Résumé

    Cette thèse est consacrée à l'étude de la physico-chimie des structures électroniques et microélectroniques à base de phosphure d'indium (InP). Le contexte scientifique de cette étude est d'abord abordé dans une description de la pollution atmosphérique ainsi que de sa métrologie. Les propriétés physico-chimiques et électroniques de InP sont particulièrement détaillées. Les structures des capteurs de gaz en cours de développement pour cette application sont ensuite répertoriées. Les méthodes de caractérisation chimique (spectroscopie de surface XPS et Auger, microscopie à force atomique AFM) et électronique (Van der Pauw) ainsi que l'analyse théorique des propriétés électroniques des couches minces sont également présentées. Enfin, des mesures en laboratoire à température et concentration variables de NO2 proches de celles rencontrées dans une atmosphère urbaine sont présentées. Les résultats obtenus suite à l'analyse théorique et aux différentes expériences ont montré le rôle prédominant des oxydes natifs présents à la surface de InP sur les réponses des capteurs. Ces derniers interviennent également sur la stabilité de la réponse aux gaz, tout comme leurs propriétés physico-chimiques. Les résultats des caractérisations électroniques et chimiques corroborent les résultats des essais des capteurs et permettent une modélisation de l'action du gaz sur InP


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Informations

  • Détails : 1 vol. (155 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p.141-155

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  • Bibliothèque : Université Clermont Auvergne (Aubière). Bibliothèque Sciences, Technologies et Staps.
  • Disponible pour le PEB
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