Etude du dépôt de diélectriques fins dans des systèmes à fort rapport d’aspect

par Sébastien Jacqueline

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Bernard Mercey.

Soutenue en 2007

à Caen .

  • Titre traduit

    Study of thin dielectrics deposition in high aspect ratio patterns


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Informations

  • Détails : 1 vol. (110 p.)
  • Notes : Thèse confidentielle jusqu'en juin 2010
  • Annexes : Bibliogr. p. 106-110

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Caen Normandie. Bibliothèque universitaire Sciences - STAPS.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : TCAS-2007-15
  • Bibliothèque : Université de Caen Normandie. Bibliothèque universitaire Sciences - STAPS.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TCAS-2007-15bis
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