Interfaces dans les revêtements de carbure de silicium

par Maud Placide

Thèse de doctorat en Sciences chimiques. Physicochimie de la matière condensée

Sous la direction de Francis Langlais et de Georges Chollon.

Soutenue en 2007

à Bordeaux 1 .


  • Résumé

    Les revêtements protecteurs de SiC, généralement élaborés par CVD à partir du mélange précurseur MTS / H2, peuvent se présenter sous forme de multicouches et dans cette configuration, il est impératif que les couches élémentaires adhèrent correctement entre elles. Toutefois, lors du passage d’une couche à l’autre, il arrive que les conditions opératoires fluctuent ponctuellement (au cours de régimes dits transitoires), ce qui modifie localement les caractéristiques du solide déposé et engendre la création de zones interfaciales, susceptibles d’altérer les propriétés d’adhérence. Dans le cadre de cette étude, les régimes transitoires liés à une diminution de la proportion de H2 dans le mélange précurseur, avec formation d’interphases extrêmement riches en carbone, se sont avérés les plus pénalisants : des décohésions interfaciales ont été observées, notamment via l’utilisation du test de rayage. Pour améliorer l’adhérence de tels systèmes, un traitement in situ, à base de NH3, permettant d’éliminer les couches carbonées indésirables, a été proposé.

  • Titre traduit

    Interfaces in silicon carbide coatings


  • Résumé

    SiC protective coatings are generally prepared by CVD from the MTS / H2 gas precursor. In the case of multilayered coatings, a key point for successful applications is a good adhesion between the various layers. Nevertheless, when a SiC layer is deposited on another one, the experimental parameters can be drastically modified during transient phenomena, resulting in the deposition of an interfacial material with altered physico-chemical properties, which may affect the adhesion between the CVD-SiC layers. In the present contribution, transient stages resulting from a decrease of the H2 content in the precursor and causing interphases with a large excess of carbon, were found to be the most disruptive. In such a case, interfacial decohesions were observed by scratch testing. However, the adhesion properties could be improved by removing the harmful carbon-rich interphases using an in situ NH3 treatment.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (153 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 145-153. Annexes

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  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : FTA 3442
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