Etude des résonateurss MEMS à ondes de Lamb - Application au filtrage en fréquence intermédiaire dans les récepteurs de radiotélécommunication

par Matthieu Desvergne

Thèse de doctorat en Sciences Physiques et de l'Ingénieur. Microélectroniquer

Sous la direction de Jean-Baptiste Begueret et de Yann Deval.

Soutenue en 2007

à Bordeaux 1 .


  • Résumé

    Dans l'optique d'améliorer les performances des récepterus et émetteurs radio-fréquences (RF) en termes de consommation et d'intégration, les Systèmes Micro-Electro-Mécaniques (MEMS) sont de très bons candidats pour remplacer les composants classiques tels que les commutateurs RF, les résonateurs et les filtres. Un des axes de recherche est actuellement concentré sur la réalisation de résonateurs intégrables sur puce pour les fréquences intermédiaires (FI) dans le but de remplacer les classiques résonateurs et filtres SAW non intégrables. Les résonateurs piézoélectriques à ondes de Lamb (LWR) ont des caractéristiques particulièrement adaptées à cette problématique. Premièrement, ces dispositifs offrent des facteurs de qualité supérieurs à 2000. Deuxièmement, leur intégration est réalisable sur puces et est compatible avec la technologie BAW exploitée par les résonateurs et filtres RF. Troisièmement, les filtres constitués de LWR offrent des impédances d'adaptation (1-2koméga) favorables à la très faible consommation. La première partie de cette thèse a donc été focalisée sur la conception de ces dispositifs : étude technologiques, modélisation des résonaterus et des filtres, conception des masques et réalisation basée sur la technologie du LETI. Les résonateurs ainsi obtenus atteignent de facteurs de qualité de 2300 (mesure dans l'air). De plus, nous avons réalisé les premiers filtres à couplage acoustiques (LCRF) exploitant un guide d'onde entre LWR pour contrôler la bande passante. La seconde partie de la thèse a été orienté vers l'implémentation d'un LWR dans une architecture de réception à convertisseur sigma delta passe-bande à temps continu. Nous avons ainsi montré qu'ils pouvaient remplacer avantageusement les résonateurs à réseau LC ou à transconductance GmC.

  • Titre traduit

    Study of MEMS Lamb wave resonators - Intermediate frequency filtering application in radiotelecommunication receivers


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (220 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 207-216. Annexes

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : FTA 3439
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.