Développement et application de techniques d'analyse par stimulation dynamique laser pour la localisation de défauts et de diagnostic de circuits intégrés

par Kevin Sanchez

Thèse de doctorat en Sciences physiques et de l'ingénieur. Électronique

Sous la direction de Dean Lewis.

Soutenue en 2007

à Bordeaux 1 .


  • Résumé

    L’utilisation croissante de la microélectronique et ses évolutions technologiques permanentes rendent la fabrication des circuits intégrés de plus en plus difficile, complexe et coûteuse. Le maintien des niveaux de rendement et de qualité passe en partie par la mise en œuvre de laboratoires d’analyses de défaillances performants et adaptés. Le travail présenté s’inscrit dans ce cadre et traite de l’évolution des techniques d’analyses par stimulation laser, utilisées pour injecter au cœur des circuits intégrés une petite quantité d’énergie perturbatrice. Ce travail présente l’évolution et le développement de ces techniques dans le cas de circuits intégrés activés dynamiquement. La mesure de diverses variations électriques en synchronisme avec le balayage laser permet alors d’identifier des zones de sensibilité et d’isoler un grand nombre d’anomalies et de défauts. Les différentes interactions laser – circuit intégré en mode statique et dynamique sont abordées avant d’exposer le développement et l’application de ces techniques au travers de validations expérimentales et d’applications industrielles.

  • Titre traduit

    Development and application of dynamic laser stimulation techniques for the analysis and the diagnosis of intgrated circuits


  • Résumé

    The ever increasing use of microelectronics and its technological evolution makes integrated circuit manufacturing increasingly difficult, complex and expensive. The preservation of the high levels of yield and performance is in part attained through the implementation of powerful and adapted failure analysis laboratories. The study is set under this framework and presents the developments in failure analysis of laser stimulation to inject a small quantity of perturbing energy within the cores of integrated circuits. This work presents the evolution and the development of these techniques for dynamically activated integrated circuits. Through the measurement of various electric variations synchronized with the laser scanning, it is possible to identify laser sensitive zones and to isolate a great number of anomalies and defects. The different laser - integrated circuit interactions in static and dynamic modes are presented, and a description of the development and application of laser stimulation techniques through experimental results and industrial applications is given.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (160 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 151-159

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  • Bibliothèque : Université de Bordeaux. Direction de la Documentation. Bibliothèque Sciences et Techniques.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : FTA 3370
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