Etude de capteurs résonnants acoustiques interrogeables à distance à base de films minces micro-usinés sur silicium

par Jérémy Masson

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Sylvain Ballandras.

Soutenue en 2007

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .


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  • Titre traduit

    Wirelessly requestable acoustic wave sensors based on thin films deposited onto silicon substrates


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Informations

  • Détails : 1 vol. (127 p.) ; ill. ; 30 cm
  • Notes : Reproduction de la thèse autorisée
  • Annexes : Bibliographie p.121–127

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  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SCI.BESA.2007.26
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