Solution générique pour l'adressage matriciel de micro-actionneurs thermiques et optimisation de micro-sources thermiques

par Maxime Dumonteuil

Thèse de doctorat en Sciences appliquées

Sous la direction de Thierry Camps.

Soutenue en 2006

à Toulouse 3 .

mots clés

• Adressage
• Matrice
• Micro-éjection
• Microélectronique
• Polysilicon
• Micro source thermique
• Microactionneurs
• Microélectronique

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Titre traduit

Design of microheaters adressable arrayx usung polysilicon symetrical threshold elements

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