Dépôts multicouches Fe/W sur substrat de Fe par pulvérisation magnétron D. C.

par Pascale Plantin

Thèse de doctorat en Physique des plasmas

Sous la direction de Pascal Brault et de Anne-Lise Thomann.

  • Titre traduit

    Multilayers deposition W/Fe on Fe substrate by magnetron D. C. Sputtering


  • Résumé

    Le masque des tubes cathodiques est un élément déterminant pour la qualité de l’image d’un téléviseur. Le masque est une grille de fer (Fe) oxydée sous forme de magnétite (Fe3O4). Le bombardement électronique subi par le masque génère des gradients de température. Il s’en suit une déformation du masque. L’image perd alors en contraste et en brillance. L’étude a porté sur la détermination, l’élaboration et la caractérisation d’une couche mince limitant ce gradient de température. Le matériau choisi pour cette couche protectrice est le tungstène (W) associé au Fer (Fe) sous sa forme oxyde Fe3O4. Le tungstène est un matériau réfractaire avec un haut coefficient de rétrodiffusion des électrons. De plus, Fe3O4 possède un bon coefficient d’émissivité thermique. Ces deux propriétés sont essentielles pour éviter la déformation due au gradient de température. L’étude a porté sur les dépôts de couches minces (système bicouche) W-Fe3O4 mais aussi alliage W-Fe sur substrat de Fe (matériau du masque). Les dépôts ont été réalisés par pulvérisation magnétron au moyen d’un générateur à décharge continue (pulsée ou non) avec ou sans l’assistance d’un plasma auxiliaire radiofréquece créé par une antenne interne. Pour tenter d’obtenir une couche mince de Fe3O4, nous avons étudié les oxydations ex-situ après dépôts ainsi qu’in-situ pendant ou après dépôts (en les comparant entre elles). Les caractérisations ont concerné l’étude de la structure (microscopie électronique, diffraction des rayons X), l’adhérence (test scotch et diffraction X sous traction), la composition (spectroscopie de Rétrodiffusion Rutherford et Analyse par Réaction Nucléaire).

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Informations

  • Détails : 1 vol. (145 p.)
  • Annexes : Bibliogr. p. 140-145. Index

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  • Bibliothèque : Université d'Orléans. Service commun de la documentation.Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TS 19-2006-16
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