@PHDTHESIS{danie2006,
url = "http://www.theses.fr/2006INPL087N",
title = "Revêtements minces Zn-Si-O et Ti-Si-O : élaboration au moyen d'un procédé plasma hybride pulvérisation cathodique-PECVD et caractérisation",
author = "Daniel, Alain",
year = "2006",
note = "Thèse de doctorat dirigée par Belmonte, Thierry Science et ingénierie des matériaux Vandoeuvre-les-Nancy, INPL 2006",
note = "2006INPL087N",
url = "http://www.theses.fr/2006INPL087N/document",
}