Modélisation des effets d'hydrogène sur la morphogenèse des nanostructures de silicium hydrogéné dans un réacteur plasma

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par Quentin Brulin

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Holger Vach.

Soutenue en 2006

Titre traduit

Hydrogen effect modeling of the morphogenesis of hydrogenated silicon naostructures in a plasma reactor
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Cette thèse a donné lieu à une publication en 2010 par [CCSD] [diffusion/distribution] à Villeurbanne

Modélisation des effets d'hydrogène sur la morphogenèse des nanostructures de silicium hydrogéné dans un réacteur plasma

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