Modélisation des effets d'hydrogène sur la morphogenèse des nanostructures de silicium hydrogéné dans un réacteur plasma

par Quentin Brulin

Thèse de doctorat en Physique

Sous la direction de Holger Vach.

Soutenue en 2006

à Palaiseau, Ecole polytechnique .

mots clés

• Silicium
• Modélisation
• Silicium
• Nanostructures

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Titre traduit

Hydrogen effect modeling of the morphogenesis of hydrogenated silicon naostructures in a plasma reactor

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