Stabilité et structure électrique d'une décharge inductive en gaz électronégatif

par Nicolas Plihon

Thèse de doctorat en Physique des plasmas

Sous la direction de Jérôme Perrin.

Soutenue en 2004

à Palaiseau, Ecole polytechnique .

  • Titre traduit

    Stabiblity and electric structure of an electronegative inductively coupled plasma


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Informations

  • Détails : 1 vol. (179 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. 146 réf.

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  • Bibliothèque : École polytechnique. Bibliothèque Centrale.
  • Disponible pour le PEB
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  • Disponible pour le PEB
  • Cote : C1A 120/2006/PLI
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