Elaboration et caractérisation de couches minces d'oxyde de titane

par Perrine Bourdet

Thèse de doctorat en Physique et sciences de la matière. Science des matériaux

Sous la direction de Yvan Massiani.

  • Titre traduit

    Elaboration and characterization of titanium oxide films


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    L'anodisation à bas potentiels de films de titane obtenus par pulvérisation cathodique présente un comportement original par rapport à celle du titane massif. Elle est caractérisée par quatre étapes, dans lesquelles la relaxation des contraintes associée à une cristallisation partielle sous la phase anatase jouent un rôle primordial. Des traitements thermiques ont été effectués sur ces films. Leurs propriétés semi-conductrices ont été étudiées par spectroscopie d'impédances et photo-électrochimie. Différents modèles ont été discutés et utilisés afin d'appréhender la complexité des couches étudiées, tant les couches partiellement amorphes que cristallisées. Nos résultats ont montré sans ambiguïté l'inadéquation du modèle classique de Mott-Schottky pour les mesures d'impédances à une fréquence, méthode la plus utilisée dans la littérature. Le choix du modèle du semi-conducteur amorphe s'est avéré le plus pertinent dans la détermination des paramètres de semi-conduction.

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Informations

  • Détails : 1 vol. ([8]-120 p.)
  • Annexes : Notes bibliographiques en bas de pages.

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