Etude de l'oxydation de nanocristaux de Si fabriqués par implantation ionique à basse énergie dans des couches minces de SiO2 : application aux mémoires non volatiles à base de nanocristaux

par Hubert Coffin

Thèse de doctorat en Matériaux et composants de l'électronique

Sous la direction de Alain Claverie et de Caroline Bonafos.

Soutenue en 2005

à Toulouse 3 .

  • Titre traduit

    Oxydation study of Si nanocristals fabricated by ultra-low-energy ion beam-synthesis for nonvolatile memory applications


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Informations

  • Détails : 1 vol. ( 204 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. à la fin des chapitres

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2005TOU30257
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