Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ

par Emmanuel Jordana

Thèse de doctorat en Conception de circuits microélectroniques et microsystèmes

Sous la direction de François Olivié et de Emmanuel Scheid.

Soutenue en 2005

à Toulouse 3 .

mots clés

• Mos
• Déplétion de grille
• Bore
• Oxyde ultra mince
• Contrainte mécanique
• Rugosité
• RésistivitéI(V)
• C(v)
• Effets quantiques
• Effet tunnel
• Disilane
• Silicium cristallisé
• Contraintes (mécanique)
• MOS (électronique)
• Bore
• Oxydes
• Silane -- Dérivés

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Titre traduit

Design realization and characterization of low temperature amorphous deposited and in situ boron doped polycristalline silicon gates

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