Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ

par Emmanuel Jordana

Thèse de doctorat en Conception de circuits microélectroniques et microsystèmes

Sous la direction de François Olivié et de Emmanuel Scheid.

Soutenue en 2005

à Toulouse 3 .

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Cette thèse a donné lieu à une publication en 2005 par [CCSD] [diffusion/distribution] à Villeurbanne

Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ

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Informations

  • Détails : 1 vol. ( 164 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 139-164

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