Uniquement les thèses soutenues
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Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ
par Emmanuel Jordana
Thèse de doctorat en Conception de circuits microélectroniques et microsystèmes
Sous la direction de François Olivié et de Emmanuel Scheid.
Soutenue en 2005
à Toulouse 3 .
- Mos
- Déplétion de grille
- Bore
- Oxyde ultra mince
- Contrainte mécanique
- Rugosité
- RésistivitéI(V)
- C(v)
- Effets quantiques
- Effet tunnel
- Disilane
- Silicium cristallisé
- Contraintes (mécanique)
- MOS (électronique)
- Bore
- Oxydes
- Silane -- Dérivés
mots clés
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Pas de résumé disponible.
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Titre traduit
Design realization and characterization of low temperature amorphous deposited and in situ boron doped polycristalline silicon gates
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Pas de résumé disponible.
Autre version
Cette thèse a donné lieu à une publication en 2005 par [CCSD] à Villeurbanne
Conception, réalisation et caractérisation de grilles en silicium polycristallin déposé amorphe à basse température et dopé bore in situ
