Microscopie à force atomique des surfaces douces : Caractérisation des éléments optiques holographiques
Auteur / Autrice : | Moktar Lahrashe |
Direction : | Dalibor Vukicevic |
Type : | Thèse de doctorat |
Discipline(s) : | Photonique et Traitement des Images |
Date : | Soutenance en 2005 |
Etablissement(s) : | Strasbourg 1 |
Mots clés
Mots clés contrôlés
Mots clés libres
Résumé
Les méthodes pour la measurement des surfaces ont progressé d’une façon significative les dernières années. Elles ont été favorisées par les besoins de lithographie avancée. Le but de cette thèse est d’appliquer les techniques récemment développées au problème spécifique de l'étude de la structure de surface des réseaux holographiques. Au début de cette thèse, nous avons fait une recherche bibliographique dans le but de trouver le meilleur dispositif pour notre travail. Le dispositif choisi est un microscope à force atomique (AFM). Ce dernier est un outil permettant une mesure localisée d’une résolution sans précédent. L'AFM fournit une image des structures de surface dans une plage de quelques nanomètres à quelques centaines de micromètres. Cette flexibilité permet de réaliser une analyse quantitative de la microrugosité des surfaces avec de grande sensitivité et précision. Plusieurs exemples de réseaux holographiques enregistrés sur les plaques sont étudiés. Nous avons procédé pour chaque type de plaque à l’analyse du profil du réseau, de sa profondeur, de sa rugosité et la mesuré de le module élastique a été effectue. En outre, le sondage AFM des structures sub-surfaciques a été réalisé pour les échantillons holographiques avec la gélatine comme étant la couche supérieure. Une méthode optique complémentaire nous a servit pour obtenir des informations sur les caractéristiques global des réseaux holographiques : Indice de réfraction, modulation d'indice de réfraction, période du réseau, épaisseur de l'émulsion et absorption et pertes de dispersion ont été mesuré.