Dépôt de films carbonés par des plasmas CVD Argon/Méthane : étude du procédé et caractérisation du matériau

par Paola Bruno

Thèse de doctorat en Sciences de l'ingénieur. Génie des procédés

Sous la direction de Khaled Hassouni.

  • Titre traduit

    Carbon films deposited by Argon/Methane CVD plasmas : study of the process and material characterization


  • Résumé

    Raman spectroscopy [1,2] is a standard nondestructive technique for the characterization of crystalline, nanocrystalline and amorphous carbons and it's generally used to derive the structural information of carbon materials. Raman scattering is an interacton between a photon (generally in the visible range) and the electronic cloud of the molecules or the crystal. He difference in energy between the incoming and the outgoing photons corresponds to an energy of vibrations (phonon for a crystal) of the studied materials. In other words, when a substance is passed through a monochromatic electromagnetic wave, four phenomena generally occur : the reflection, transmision, the absorption and diffusion of the radiation considered. The diffused intensity, dependent on the dispersion of incident energy in all the directions, is generally rather low, about 10̄̄̄̄̄̄. . . . To 10. . . . Times the incident intensity. The major part of the diffused intensity is due to the elastic scattering of the photons on the molecules i. E. Without change of requency and is called diffusion Rayleigh (1871). . . .

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Informations

  • Détails : 1 vol.(252 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. en fin de chapîtres

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  • Bibliothèque : Université Paris 13 (Villetaneuse, Seine-Saint-Denis). Bibliothèque universitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 2005 009

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  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 05 PA13 2045
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