Croissance de monocristaux de diamant par dépôt chimique en phase vapeur pour des applications en électronique de puissance

par Alexandre Tallaire

Thèse de doctorat en Génie des procédés

Sous la direction de Alix Gicquel.

Soutenue en 2005

à Paris 13 .


  • Résumé

    Au cours de cette thèse, l'optimisation conjointe de la qualité et des vitesses de croissance de films de diamant monocristallin a été menée dans un réacteur de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma micro-onde. En particulier, le rôle de paramètres expérimentaux tels que la concentration en méthane, la température du substrat, ou la densité de puissance micro-onde injectée en mode continu ou pulsé ont été étudiés, ainsi que l'ajout de très faibles quantités d'azote dans la phase gazeuse pendant la croissance. Des monocristaux de diamant, épais de plusieurs milimètres, et dont la qualité a été évaluée par une large variété de techniques de caractérisation ont ainsi pu être synthétisés pour la première fois. Leur utilisation pour des applications en électronique de puissance est finalement discutée et les premières mesures électroniques présentées.

  • Titre traduit

    Growth of monocrystalline diamond films by chemical vapor deposition for high power electronics applications


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Informations

  • Détails : 266 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. en fin de chapîtres

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paris 13 (Villetaneuse, Seine-Saint-Denis). Bibliothèque universitaire. Section Sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : TH 2005 043
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