Adsorption et condensation de gaz dans des couches minces diélectriques mésoporeuses suivies par ellipsométrie

par Aléxis Bourgeois

Thèse de doctorat en Science des matériaux

Sous la direction de Josette Rivory.

Soutenue en 2005

à Paris 6 .

  • Titre traduit

    Adsorption and condensation of gas in mesoporous dielectric thin films studied by spectroscopic ellipsometry


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  • Détails : 1 vol. (191 p.)
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