Etude la croissance dendritique du cuivre dans l'acide oxalique : application au procédé de nettoyage post-CMP en microélectronique

par Elodie Ostermann

Thèse de doctorat en Génie des procédés et haute technologie

Sous la direction de Claude Gabrielli.

Soutenue en 2005

à Paris 6 .

  • Titre traduit

    Study of the dendritic growth of copper in oxalic acide : application to the post-CMP cleaning process in microelectronic


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Informations

  • Détails : 1 vol. (242 f.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Notes bibliogr. en fin de chapitres

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
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  • Cote : T paris 6 2005 533
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