Etude des mécanismes élémentaires du dépot de couches minces d'oxyde d'étain par le procédé PACVD

par Jérôme Pulpytel

Thèse de doctorat en Génie des procédés

Sous la direction de Farzaneh Arefi-Khonsari.

Soutenue en 2005

à Paris 6 .

  • Titre traduit

    Study of the growth mechanisms of tin oxide thin films deposited by plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD)


  • Pas de résumé disponible.

Consulter en bibliothèque

La version de soutenance existe sous forme papier

Informations

  • Détails : 1 vol. (161 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 130-132

Où se trouve cette thèse\u00a0?

  • Bibliothèque : Sorbonne Université. Bibliothèque de Sorbonne Université. Bibliothèque Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Consultable sur place dans l'établissement demandeur
  • Cote : T Paris 6 2005 455

Cette version existe également sous forme de microfiche :

  • Bibliothèque : Université de Lille. Service commun de la documentation. Bibliothèque universitaire de Sciences Humaines et Sociales.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : 2005PA066455
Voir dans le Sudoc, catalogue collectif des bibliothèques de l'enseignement supérieur et de la recherche.