Etude des mécanismes élémentaires du dépot de couches minces d'oxyde d'étain par le procédé PACVD

par Jérôme Pulpytel

Thèse de doctorat en Génie des procédés

Sous la direction de Farzaneh Arefi-Khonsari.

Soutenue en 2005

à Paris 6 .

  • Titre traduit

    Study of the growth mechanisms of tin oxide thin films deposited by plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD)


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Informations

  • Détails : 1 vol. (161 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 130-132

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  • Bibliothèque : Université Pierre et Marie Curie. Bibliothèque Universitaire Pierre et Marie Curie. Section Biologie-Chimie-Physique Recherche.
  • Consultable sur place dans l'établissement demandeur
  • Cote : T Paris 6 2005 455
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