Développement de matériaux diélectriques pour les interconnexions des circuits intégrés a-SiOC:H poreux "Ultra Low K" et a-SiC:H "Low K"

par Laurent Favennec

Thèse de doctorat en Chimie des matériaux

Sous la direction de Jean Durand.

Soutenue en 2005

à Montpellier 2 .

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Informations

  • Détails : 1 vol. (201 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliographie p. 187-193. Annexes

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