Conception, réalisation et tests de filtres millimétriques volumiques micro-usinés

par Nicolas Faure-Muret

Thèse de doctorat en Électronique des hautes fréquences et optoélectronique. Communications optiques et micro-ondes

Sous la direction de Dominique Baillargeat et de Serge Verdeyme.

Soutenue en 2005

à Limoges , en partenariat avec Université de Limoges. Faculté des sciences et techniques (autre partenaire) .


  • Résumé

    Les filtres volumiques présentent une très bonne sélectivité. En revanche, leur intégration au reste du circuit est problématique. L'utilisation du micro-usinage du silicium permet d'imaginer des structures volumiques plus facilement intégrables. Le principe de filtrage décrit dans ce manuscrit appartient à cette catégorie et présente les particularités suivantes : une fréquence de travail élevée (60 GHz), un système d'excitation original et la possibilité de réaliser une fonction elliptique pour améliorer la sélectivité. La conception est rendue possible grâce à l'utilisation d'un logiciel de simulation électromagnétique développé par l'IRCOM et basé sur la méthode des éléments finis. Les réalisations ont été effectuées dans les salles blanches de THALES. Un facteur de qualité à vide supérieur à 1000 est obtenu expérimentalement. Les mesures de filtres multi-pôles permettent de valider les systèmes de couplage et confirment la possibilité d'obtenir une réponse elliptique

  • Titre traduit

    Design, fabrication and characterization of micromachined volumic filters in the millimeter-wave range


  • Résumé

    Volumic filters are very selective but their integration to the rest of the circuit is still a difficulty. Silicon micromachining authorizes the design of new structures that can be more easily integrated. The solution described in this manuscript belongs to this new category of filters and presents the following characteristics: a high resonant frequency (60 GHz), a new feeding structure and the possibility to obtain an elliptic filtering response to improve the selectivity. For the design, a 3D finite element method (FEM) software is used, which was implemented by IRCOM. The fabrications have been made in the clean rooms of THALES and an experimental unloaded quality factor greater than 1000 has been achieved. Measurements of two-pole and four-pole filters validate the coupling systems and prove the possibility to obtain an elliptic response

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Informations

  • Détails : 1 vol. (168 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 141-147

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  • Bibliothèque : Université de Limoges (Section Sciences et Techniques). Service Commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
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