Contribution à la modélisation électrique des interconnexions "cuivre" dans les circuits intégrés ULSI : application aux technologies 0.25, 0.13 microns et 70 nanomètres

par Karim El Bouazzati

Thèse de doctorat en Micro-ondes et microtechnologies

Sous la direction de Patrick Kennis et de Jean-François Légier.

Soutenue en 2005

à Lille 1 .


  • Résumé

    Ce travail consiste en la modélisation électrique des interconnexions "cuivre" dans les circuits intégrés ULSI des technologies 0. 25, 0. 13 micromètres et 70 nanomètres. L'action de l'effet de peau sur la validité du schéma électrique équivalent RC d'une connexion dans la technologie 0. 25 [micron] a été évaluée. Nous avons ensuite déterminé précisément l'impact de l'effet inductif sur les évolutions des temps de retard de propagation et de commutation des impulsions véhiculées par l'interconnexion afin d'étudier l'intégrité des signaux. Cette opération a été effectuée en présence des niveaux environnants à pertes ou parfaitement conducteurs. L'impact de l'inductance dans le schéma électrique RLC est quantifié grâce à l'utilisation d'une méthode d'éléments finis à éléments d'arêtes couplée à la théorie des lignes de transmission. Le comportement de deux et trois interconnexions en mutuelle interaction, d'un même niveau de métallisation, dans la technologie 0. 25 [micron] a été analysé, et ce, grâce au calcul de la diaphonie. Enfin, nous concluons ce travail en comparant les performances conjointes des interconnexions associées aux technologies 0. 25 {micron], 0. 13 [micron] et 70 nm.


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  • Détails : 1 vol. (163 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. à la suite de chaque chapitre. Liste des publications

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  • Bibliothèque : Université des sciences et technologies de Lille (Villeneuve d'Ascq, Nord). Service commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 50376-2005-87
  • Bibliothèque : Université des sciences et technologies de Lille (Villeneuve d'Ascq, Nord). Service commun de la documentation.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 50376-2005-88
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