Conception, caractérisation et modélisation : fiabilité prédictive de MEMS à actionnement électrothermique

par Sylvaine Muratet

Thèse de doctorat en Conception des circuits micrélectroniques et microsystèmes

Sous la direction de Jean-Yves Fourniols.

Soutenue en 2005

à Toulouse, INSA .


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  • Résumé

    Afin de contribuer à étendre le champ d'application des microsystèmes à des nouvelles applications à haute valeur ajoutée maisfaible série, il apparait nécessaire d'estimer et d'analyser la fiabilités d'un microsystème en prenant en compte les conditions d'utilisation. C'est pour répondre à cette problématque que les travaux de cette thèse ont été réalisés en vue de mettre en place une méthodologie d'étude de la fiabilité des microsystèmes par le biais de la modélisation. En effet, en réalisant un prototype virtuel complet d'un microsystème, on peut non seulement prédire son comportement dans n'importe quelles conditions environnementales d'utilisation mais aussi l'optimiser avant de lancer sa fabrication. Pour démontrer la faisabilité de cette méthode, les travaux ont été menés sur les actionneurs électrothermiques. Pour cela, nous avons (1) mis en place un modèle analytique du comportement idéal de la structure en utilisant la méthode des éléments finies mais surtout le langage VHDL-AMS, (2) fabriqué et caractérisé des véhicules de tests pour valider ce modèle , (3) réalisé des tests de vieillissement pour mettre en évidence les mécanismes de défaillance et enfin (4) avons mis en place des modèles empiriques de ce vieillissement pour compléter la description analytique.

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Informations

  • Détails : 1 vol. ( 155 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 145-146

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées. Bibliothèque centrale.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2005/803/MUR
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