Développement de micromasques mobiles intégrés appliqués à la fabrication de micro et nanostructures

par Christophe Courcimault

Thèse de doctorat en Matériaux pour l'Électronique et l'Ingénierie des Plasmas

Sous la direction de Jean-Claude Portal et de M. Allen.

Soutenue en 2005

à Toulouse, INSA .

  • Titre traduit

    Integrated Microactuated Stencils for Surface Micro and Nano-Patterning


  • Pas de résumé disponible.


  • Résumé

    Le sujet de cette thèse est d'introduire l'utilisation de microsystèmes comme micro-outils aidant à la fabrication de micro- et nano-structures. L'intégration de multiples couches de micromasques dont les positions peuvent être ajustées en temps réel alors que des particules métalliques ou des agents de gravures sont transférés à la surface du substrat permet de contrôler la composition, la forme tridimensionnelle et la taille des structures à l'échelle nanométrique, sans recourir à des technologies de nanolithographie. Cette méthode de structuration est ensuite généralisée à l'ajustement mécanique de la réponse en fréquence de microrésonateurs présentant de large facteur de qualités. Le dépôt de couches métalliques à la surface d'une structure résonante permet d'ajuster son moment d'inertie et sa masse, et par suite d'ajuster sa fréquence de résonance. L'épaisseur des dépôts métalliques est défini par la position d'un micromasque permettant ou non aux atomes de métal d'atteindre l'élément résonant. Afin d'intégrer les microrésonateurs et micromasques, deux techniques de re-surfaçage à basses température ont été développées.

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Informations

  • Détails : 1 vol. (227 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. p. 149-156

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Institut national des sciences appliquées. Bibliothèque centrale.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2005/785/COU
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