Couches minces d'oxynitrures de titane par pulvérisation cathodique réactive

par Jean-Marie Chappé

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Jamal Takadoum et de Nicolas Martin.

Soutenue en 2005

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .


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  • Titre traduit

    Titanium oxynitride thin films by reactive sputtering


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Informations

  • Détails : 1 vol. (137 p.)
  • Notes : Reproduction de la thèse autorisée
  • Annexes : Bibliographie en fin de chapitre

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Bibliothèque universitaire Sciences - Sport (Besançon).
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : SCI.BESA.2005.11
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