Couches minces d'oxynitrures de titane par pulvérisation cathodique réactive

par Jean-Marie Chappé

Thèse de doctorat en Sciences pour l'ingénieur

Sous la direction de Jamal Takadoum et de Nicolas Martin.

Soutenue en 2005

à Besançon , en partenariat avec Université de Franche-comté. UFR des sciences et techniques (autre partenaire) .


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  • Titre traduit

    Titanium oxynitride thin films by reactive sputtering


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Informations

  • Détails : 1 vol. (137 p.)
  • Notes : Reproduction de la thèse autorisée
  • Annexes : Bibliographie en fin de chapitre

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