Fabrication et étude de structures sub-microniques déposées par faisceau d'ions focalisés (FIB)

par Morgane Prestigiacomo

Thèse de doctorat en Sciences des matériaux

Sous la direction de Hervé Dallaporta.

Soutenue en 2005

à Aix-Marseille 2 , en partenariat avec Université d'Aix-Marseille II. Faculté des sciences (autre partenaire) .


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    Fabrication and study of sub-micronic structures deposited by focused ion beam


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Informations

  • Sous le titre : Fabrication et étude de structures sub-microniques déposées par faisceau d'ions focalisés (FIB)
  • Détails : 1 vol. (120 f.)
  • Annexes : Réf. bibliogr.
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