Mesure et contrôle de position et de vitesse à l'échelle nanométrique : application à la balance du watt

par Darine Haddad

Thèse de doctorat en Optoélectronique

Sous la direction de Yasser Alayli.

Soutenue en 2004

à Versailles-St Quentin en Yvelines .


  • Résumé

    L'objet de ce travail est de contrôler la position et la vitesse d'une masse en mouvement avec une exactitude nanométrique sur une course de 80 mm. Pour la vitesse l'objectif fixé est d'obtenir une stabilité de 10-9 en valeur relative. L'application essentielle est la balance du watt du Bureau National de Métrologie. Une méthode originale a été développée et mise en œuvre, basée sur l'utilisation d'un interféromètre de Michelson hétérodyne et une électronique haute fréquence. Le système interférométrique est associé à un système mécanique de translation double étage constitué d'un moteur linéaire et d'un actionneur piézo-électrique. Des déplacements de 4,945 nm sont contrôlés et mesurés avec des répétabilités et des exactitudes inférieures au nanomètre. Les résultats montrent qu'une incertitude relative sur la vitesse de 10-9 peut être atteinte

  • Titre traduit

    Measure and control of position and velocity at the nanometric scale : application to the watt balance


  • Résumé

    The aim of this work is to control the position and the velocity of a moving mass with a nanometric accuracy on a translation range of 80 mm. For the velocity, the objective is to obtain a stability of 10-9 in relative value. The essential application is the watt balance of the Bureau National de Métrologie. A novel method was developed and implemented, based on the use of both a heterodyne Michelson's interferometer and a home made electronic circuit. The interferometric system is associated to a mechanical system of double translation stages made up of a linear stage and a piezoelectric actuator. Displacement of 4. 945 nm was controlled and measured with repeatabilities and accuracies less than the nanometer. Results show that relative uncertainty of 10-9 on velocity can be reached

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Informations

  • Détails : 1 vol.(xiii-136 p.)
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : 64 réf. Notes bibliogr.

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  • Bibliothèque : Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines. Direction des Bibliothèques et de l'Information Scientifique et Technique-DBIST. Bibliothèque universitaire Sciences et techniques.
  • Non disponible pour le PEB
  • Cote : T040018
  • Bibliothèque : Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines. Direction des Bibliothèques et de l'Information Scientifique et Technique-DBIST. Bibliothèque universitaire Sciences et techniques.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 621.381 04 HAD
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