Nettoyage chimique humide de surfaces silicium (appliqué au recyclage), nettoyage chimique humide et préparation de surface d'alliages silicium-germanium et de couches de germanium pur

par Alexandra Abbadie

Thèse de doctorat en Sciences et génie des matériaux

Sous la direction de Abel Rousset et de Pascal Besson.

Soutenue en 2004

à Toulouse 3 .

  • Titre traduit

    Chemical wet-cleaning of silicon reclaimed wafers, chemical wet-cleaning and surface preparation of Si1-x Gex relaxed substrates and pure Germanium


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Informations

  • Détails : 220 p.
  • Notes : Publication autorisée par le jury
  • Annexes : Bibliogr. à la fin des chapitres

Où se trouve cette thèse ?

  • Bibliothèque : Université Paul Sabatier. Bibliothèque universitaire de sciences.
  • Disponible pour le PEB
  • Cote : 2004TOU30082
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