Elaboration de couches minces de YIG par pulvérisation cathodique RF pour des applications dans les domaines optique et hyperfréquence

par Toufik Boudiar

Thèse de doctorat en Électronique

Sous la direction de Jean-Jacques Rousseau.

Soutenue en 2004

à Saint-Etienne .

mots clés

• Yttrium
• Matériaux ferrimagnétiques
• Microondes
• Couches minces
• Grenat
• Films magnétiques

Résumé

L'objectif de ce travail est le développement de couches minces de YIG sur différents substrats en vue de leur utilisation pour la réalisation d'isolateurs intégrés magnéto-optiques et hyperfréquences. En effet, les dispositifs non réciproques actuellement commercialisés sont discrets, une version intégrée de ces dispositifs est très attendue dans les réseaux de télécommunications optiques et hyperfréquences. Pour cela, dans une première étape nous avons exploré l'élaboration par pulvérisation cathodique radiofréquence des couches minces YIG magnétiques et magnéto-optiques de qualité. Puis, dans une seconde étape, après avoir obtenu le bon matériau, nous avons utilisé les films YIG pour la réalisation de démonstrateur d'isolateurs intégrés dans les domaines optiques et hyperfréquences

Alternative Title

YIG thin films elaborated by RF magnetron sputtering for optical and microwave applications

Résumé

In this work, YIG thin films are elaborated by RF magnetron sputtering on different substrates to use like magneto-optical and microwave isolators. Nowedays, the nonreciprocal components use bulk materials which are not compatible with the technology of semiconductors. Thus, the achievement of thin films can be a major step in the miniaturization of such electronic devices. This study investigates the optimal conditions for obtaining a good YIG material, which is elaborated by RF magnetron sputtering technique. The, the YIG thin films are used for the realization of isolator demonstrator in magneto-optical and microwave domains